O sistema Tribo da Logitech提供remoção材料nível nanométrico模具个人或晶圆até 100mm/4" diâmetro。Esta solução CMP é充分的对硅片/基片材料的变化进行了分析,并在fabricação上进行了处理。一个Tribo atinge padrões da indústria em controle remoção de camadas para CMP e produce superfícies de qualidade laser (0/0 scratch dig), fazendo melhorias na topografia da superfície。Também é possível atingir níveis de Ra subnanômetros em substratos com este sistema。Este sistema altamente versátil pode ser adaptado através do uso de dientes cabeças de support, gabaritos de polimento, módulos de bancada úmida ou detecção de ponto final。一个Tribo允许回忆数字variáveis de dados através de múltiplos传感器,一个fim de identiar e analisar vários factors in situ nas amostras de material que estão A ser processadas。O软件analítico integrado e em tempo real permite que você converta esses dados em informações úteis。O软件pode ser facilitationpara pacopadrão como微软Excel。
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