Forno de câmaraSO2-12-F

eletrico Com circulação de ar

Este forno limpo processa bolachas de 300 mm (12 polegadas) para a produção de半导体。Com FOUPs, 50个晶圆podem ser processadas de forma total e automática para cada câmara。O系统，pode, ser，利用，para, process，到，一个，温度，政治，和，外部物质。Caracteristicas《de limpeza totalmente automatico对位funcionamento FOUP Maximo 50 bolachas为什么卡马拉嗯无袖长衫esta disponivel para 2室2 FOUP为什么卡马拉Transferencia德晶圆德阿尔塔velocidade穷无袖长衫de manipulacao德晶圆得宝埃斯特《limpo对位producao德半导体信息自由desenvolvido atraves da introducao做equipamento de fabrico de FPD但是vendido《limpo de processamento de bolachas简便性。Este forno pode funcionar de forma totalmente automática utilitzando FOUPs de 300-mm (12 polegadas)。50 bolachas podem ser processadas para cada câmara e podem ser instaladas até 2 câmaras (2 FOUPs são utilizadas para cada câmara)。O processamento a baixa poliimida de poliimida e outros materiais é实现它们的速度。