O sistema de sonda Octiv VI é um sistema de medição de tensão de RF em linha, corrente e ângulo de fase。Pode mediema única frequência fundamental e seus harmônicos a 1% de precisão e resolução de tempo 1μs Cada sistema tem um menu pendente com uma escolha de 5 frequências fundamentais para escolher。Mede tensão, corrente, ângulo de fase, impedância e harmónicos e as medições podem ser visualizadas a part of PC ou directamente para a unidade do contador。O sistema de sonda Octiv VI permite ao usuário escolher uma única frequência fundamental a partir de menu suspenso de cinco e extrair todas as informações harmônicas de cada parâmetro medido。Sonda Octiv VI é um sensor de impedância de frequência única que normalmente send A deidade de correspondência。Ele é usado para medir a impedância de carga em aplicações como processos de plasma。Monitora tensão, corrente e fase de uma única frequência fundamental e seus harmônicos。Sonda Octiv VI é等离子体系统精确监测的理想方法。O Octiv VI é calibrado para cinco frequências fundamentais: 2MHz | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz e tem uma faixa de potência de 0 a 12 kW
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