Os sistemas de auto-recarga de líquidos da série u - a1000 da HORIBA自动功能,com materiais sem resíduos, e são seguros para utilização em sistemas de cozedura de material líquido (LSC) e sistemas de injecção (série MI, MV, VC)。Eles são compatíveis com SEMI S2.S8.S14.S14.CE。Eles também contêm uma sequência automática de purga de líquido remanescente, oferecendo segurança antes da substituição do tanque。O process so de manutenção é fácil e rápido, minimizando O tempo de inatividade。el apresentam monitoramento da pressao de蒸汽(verificacao哒eficiencia哒冬季暴风雪),monitoramento做ceel de carga sistema integrado de气体对位reducao de tamanho模desgaseificador, funcao de desligamento de emergencia painel sensivel ao无边女帽de facil utilizacao,等等。这是一种方法automático de líquido de alta qualidade para várias aplicações de vapor, process, e sistemas
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