扩展a Compatibilidade com Produtos Químicos e Contribuindo para uma Maior Taxa de rendimentona Fabricação de半导体a HORIBA Advanced Techno, Co., ltd desenvolveu e iniciou as vendas do HD-960LR, um novo monitor de oxigênio溶解para fabricantes de半导体和设备de fabricação de半导体,em 1 de julho de 2021。最近miniaturização e desempenho aprimorado dos半导体está多样化os产品químicos usados no process de fabricação de半导体,可以做一个适当的请求程序。Este novo monitor de oxigênio dissolvido monitororcontinuamente o conteúdo de oxigênio dissolvido de productos químicos com grande precisão no processo de fabricação de半导体。A adição de um novo mecanismo de sensor interno pode suprimir degradação do eletrólito e até amplar A compatibilidade com água amônia e溶剂orgânicos específicos。Além disso, a adoção deste novo mecanismo realizou o ciclo de substituição de sensor de primeira classe da indústria, de proximadamente um ano。O HD-960LR estende a vida útil do sensor proximadamente 1,3 vezes para água ultra pura e 70 vezes para água de amoníaco em comparação com nossos produtos concionais。Um intervalo mais longo entre as substituições de sensores ajuda aumentar a eficiência operacional。O Grupo HORIBA continuará响应者às amplas必需品dos客户para贡献para uma主要分类单元de rendimendimentiona na fabricação de半导体。Mesmo o nível de contaminação do nanômetro no process de fabricação de半导体tem o potential de causar mau function do半导体。
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