Máquina de gravação de晶圆一个等离子体m - 8000系列

Para a indústria da microeletrônica

O导体蚀刻系统M-8000系列é utilizado para máscara dura e gravura de silicone para 32nm e mais além。日立高新技术研发中心，tais como padronização dupla e novos process de ataque de materiais, tais como high-k dielétrico/metal gate através do JDP (Joint Development Program) com fabricantes de dispositivos e dispositidores de materiais / ferrameta。O sistema de condicionamento中的da日立高科技fornece controle优越de perfil e uniformidade de CD dentro做晶片com乌玛·卡马拉新星德condicionamento中的de等离子de microondas (Ressonancia Ciclotron Eletronica), controle de temperatura德晶片de alta velocidade e tecnologia de controle de exaustao de alto真空。日立高新技术有限公司的AEC (Advanced Equipment Control) / APC (Advanced Process Control)是日立高新技术有限公司的前身。