Mesa de coordenadas线性Metis Xyzt

Motorizada de 2 eixos Aerostática

estaplataformaéumaplataforma planarhíbridamecânico/ar do rolamento desticada para para para pisar e fazer a varredura deaplicações。éumaplataforma de 6 Machados Que Move-Se Em Sentidos de X，de Y，de Z e de Teta。nivelamentodinâmicosobre o curso culso compleso assim como repetibilidade bidiredeciareéparâmetroschaves。estaplataformaéusadaadualmente dentro：-aplicações控制de Processos da bolacha tais como adimensãocríticae Metrologia do filme fino。-Risco da Bolacha -recozimentotérmicodo laser da bolachapôdeigualmente ser usado ser usado ser usado no da linhamáquinasda litografia（AlinhadoresdaMáscara）Esta plataforma caracteriza: - Nivelamento do movimento dado pelo rolamento de ar - Rotação ilimitada na teta - Integração dobro de Z: Curso grosseiro para carregar/que descarrega e curso fino para o adjustement do foco - Buit-no compensador da gravidade em Z (patentependente) - A correção da guinada pode ser feita levemente deslocando os motores Y1 e Y2 - Pode mais ser integrado com um sistema ativo do isolamento controlado inteiramente por ETEL - Os cursos em X e em Y podem ser feitos mais por muito tempo com algumas limitaçõesNo desempenhoespecificaçõesprincionais：-Curso Total：320Milímetrospara X12XyMilímitroPara Z -Velocidade：1,2 m/s para xy，0,1 m/s para Z para z e 15,7 rad/s para para para para para para para t -aceleração：1Aceleração：1Aceleração：1，2 g para xy，0,2 g Para Z E 104,7 rad/s2 para t -estabilidade daposição：±25nanômetropara xy，arcsec±15nanômetropara z e±0.2 para para para para para t- repetibiridade bidibiridade bidiridade bidiriridade bidiriridade bidiriridade µm±0.4 µm±0.4 µm±0.4xy，µm±0.3 para z e arcsec±2 para t para t