O estágio Piezo SPS35XS do piso linear é criado usando O princípio do atuador Piezo do piso。Oferece um curso longo combinado com micro/definição de posicionamento nano。A unidade tem uma carga máxima de 5mm。Mede 30*30 milímetro (linha central de X&Y)。A definição é 35 com uma freqüência descarregada da ressonância 200赫兹的频率是2.50赫兹。
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