波里- 500 e乌玛pequena polidora mecanica quimica de 8 polegadas, adopta metodo de carregamento手册,颇得opcionalmente ser equipada com palete de carregamento semi-automatico,它安全气囊膜para aumentar pressao de形式flexivel, e颇得ser equipada com sistema de monitorizacao da举国de friccao e做ponto最终de temperatura utilizado对位o polimento planarizado de氧化metais, STI, SOI, MEMS e结尾部分produtos。作为aplicações são amplas。Funções completas Colocar contrapressão de膜na bolacha, placa de polimento com sistema de refecimento incorporated,古巴做braço oscilante e função de monitorização做ponto final de detecção de fricção e温度é可选。Operação simples Sistema de control de PC, controlo por ecrã táctil, palete de carregamento semi-automático é optional, polimento automático CMP de um botão。相容宝儿3节独立合唱的基本曲目,广场广场的polimento de fácil substituição, cabeça polimento substituível de 4,6和8 polegadas, compatível com wafers de不同的tamanhos e tipos。Pequeno espaço no chão Minimizar o espaço de chão de sala limpa。
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