Descrição安装位置cerâmicas feitas de nitreto de silício podem ser produzidas com um diâmetro外观尺寸为400mm。Dentro deste diâmetro são possíveis quisquer formas reangulares, formas personalizadas e aberturas。Uma altura típica das placas é这条5毫米长的通道refrigeração这条15毫米的通道。作为一种特有的材料cerâmico允许水样分类群rápidas, distribuição统一温度极好precisão无控制。Em comparação com o metal, a superfície da cerâmica permanece plana devido à sua baixa expansão térmica, mesmo quando operada com mudanças rápidas de temperatura。A alta resistência do nitreto de silício prenado A quente garante alta resistência à tensão (por exemplo, com cargas de alta pressão) e excelente resistência ao desgaste。根据são我们将对半导体的加工过程进行详细说明。Vantagens作为为Vantagens:低地tem uniformidade优越de temperatura e planicidade da城巴aquecimento Refrigeracao ativa integrada e acionamento一个真空pedido funcao de aquecimento e resfriamento颇得ser adaptada作为为necessidades de processo地区de aplicacao sistema de processamento德半导体(exemplo, ligantes de莫尔德)sistema de revestimento (CVD、PVD) sistema de solda tecnologia做真空recozimento / processos de decapagem litografia
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