菲索干涉仪Verifire™MST

Verifire MST干涉仪系统提供了前所未有的结果和测量能力。Verifire™MST从经典干涉仪应用开始。这些应用都是测量两个表面之间的波前变化，一个两表面腔。然而，测量一个未涂覆的平行板会得到两层干涉图(一个三面腔)，这只会混淆标准相移干涉法的算法。ZYGO利用相位的波长漂移和ZYGO专利的傅里叶变换相移干涉术(FTPSI)解决了这个问题。Verifire™MST可以测量两面、三面甚至四面空腔。显示所有的表面，或仅感兴趣的表面，所有在MetroPro®软件。使用FTPSI可以自然地抑制工件，从而消除了对扩展源的需求。•同时测量两面，三面，甚至四面腔。•大大简化了同质性计量。 • Measures front surface map, optical thickness variation, and the back surface approximation.