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XY舞台
压电
2轴
高准确率
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特征
- 方向
- xy
- 类型
- 压电
- 轴数
- 2轴
- 其他特征
- 高准确性，真空兼容，非磁性，均衡器分辨率
- 中风
-
最大限度。：107毫米（4.213英寸）
最小：27毫米（1.063英寸）
- 速度
-
最大限度。：200 mm/s
最小：0 mm/s
描述
XY-XLS由两个XLS阶段组成，而无需使用额外的适配器板。使用XY-XLS，一个人可以在2-DOF中以纳米精度和可重复性定位。由于XLS阶段的超声波驱动原理，XY-XLS的寿命很长，很快，无噪音，并在关闭电源时保持其位置。甚至可以以非常低和恒定的速度（µm/s）移动。这些功能使其成为用于材料科学应用的理想显微镜阶段或多道置定位器。XY-XL可用于真空中，并由非磁性材料制成。
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