DPG-5P / DPG-10P脉冲直流发电机DPG-5P / DPG-10P为5kW / 10kW脉冲直流发电机,用于无功溅射。该发电机将减号的输出电压改为加电压,并排出目标表面的存储电子电压。通过此,实现产量和吞吐量改进。通过减小异常放电,可以降低能够降低由电弧变换脉冲频率的基板损坏的基板损伤的高功率输入可以通过主/奴隶能够降低基板损坏。最多六个单位的连接可以并联运行(相同的型号可用)对应于直流输出,它取消了脉冲功能,可输出直流特殊功能/进一步应用用于FPD无反应溅射设备的无反应溅射设备,用于工业涂层反应溅射设备的颜色TFT.