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扩散真空泵ULK系列
润滑
单级
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特征
- 技术
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- 单级
描述
ULVAC的ULK系列扩散泵不仅具有优越的性能，而且具有极低的运行成本。使用软管法兰(ULK-04A和06A上的排气法兰除外)泵可以很容易地清洗(部件可以很容易地拆卸)。配有停止工作流体流向辅助泵的机构。
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