Trek Model 1100TN静电力显微镜(EFM)使电压分布的电压分配能够优于10μm,这远远超出了典型的静电电压表的能力。在大气条件下操作时,Trek的EFM也可以测量与扫描探针显微镜相比更大的表面积的电压分布。Trek的EFM采用反馈电压,检测器等于测量的电压,从而防止检测器与所测试表面之间的电弧。键规格电压范围:±1 kV电压灵敏度:精度:优于0.5%的满量程优于100 mV增量步骤:1μm,最小(探测器)探测器尖端:5μmx5μm测量面积:5 mm x 5 mm典型的应用包括抗静电袋的测量,Si晶片电子照相材料测试光伏材料评估MEMS测试功能和益处可用于大气条件的空间分辨率优于10μm的三种测量模式: - 静态线廓 - 3D映射