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水冷装置Thermorack 1801.
袖珍的
热电
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特征
- 材料
- 水
- 其他特征
- 紧凑，热电
- 力量
-
1,200 w，2,000 w（4,094.57 btu / h）
- 最高温度
-
最大限度。：80°C（176°F）
分钟：-10°C（14°F）
- 流速
-
最大限度。：20 L / min（5.283美国GAL / MIN）
分钟：0 L / min（0 US GAL / MIN）
- 压力
-
最大限度。：50 psi.
分钟：0 psi.
描述
半导体冷却器Thermorack 1801较高容量架子冷却器，用于等离子体蚀刻和其他半应用1,800瓦的冷却能力 - 50％的容量比Thermorack 1201在相同的5U RackMount外壳中±0.05°C温度稳定性/可重复性运行范围从-20°C70°C设计用于标准高流量的非常快速的响应，中等流量和低流量配置可将晶圆变化为晶片变化，并消除了比压缩机的冷却器更高高达80％的液晶效果，使用热电技术进行高可靠性和降低维护成本简单的设计 - 只有2种移动部件消除了氟利昂和其他有害制冷剂，遵守新的环境法规，使用较少的设施水和昂贵的冷却剂，如荧光或加尔顿紧凑型尺寸：最多6个TR1801系统适合1个压缩机冷却器的空间可用于Amat，Lam，Tel和Hitachi Systems的通信接口通用Power - PLUG进入并在世界上任何地方进行等离子体蚀刻，等离子灰，CMP等过程的优异解决方案
目录
Thermorack 1801.
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