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固体过滤WL系列
墨盒
真空
工业
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这种产品比较
特征
- 专为
- 为固体
- 过滤元件
- 墨盒
- 过滤方法
- 真空
- 应用程序
- 工业
- 材料
- 钢
- 过滤面积
-
最小值。2µm
马克斯。5µm
- 流
-
最小值。40 m³/h (1412.587 ft³/h)
马克斯。8,415 m³/h (297,172.92 ft³/h)
描述
索尔伯格的WL系列真空过滤器是专为各种工业和半导体工艺的快速热和/或压力循环创造苛刻的操作条件。适用于使用真空炉或沉积工具的中-高真空应用，WL系列标准配备各种真空额定法兰选择和可更换的过滤元件，为真空系统提供优越的保护和寿命。在这个系列的外壳是100%氦气泄漏测试，以确保真空完整性和验证泄漏率下降到1x 10-5 mbar/l/s。NW16 - NW40法兰连接:ISO法兰连接不锈钢ISO法兰布纳o型圈密封无缝拉制外壳耐腐蚀碳钢结构粉末涂层(黑色型号)o型圈外壳密封不锈钢扭力夹K100 - K320连接:加工法兰表面为RMS63，裸高质量的真空服务组件耐腐蚀性黑色粉末涂层碳钢KF10微分港口准确真空ΔP阅读加工和抛光ISO法兰脸上密封表面可靠的真空性能在所有法兰类型K200外壳和大圆顶盖最小化偏转,提高耐久性Technical Specifications Rated vacuum leak rate of 1x10-5 mbar/l/sec or better (verified by helium leak test) Temp (continuous): min -15°F (-26°C) max 220°F (104°C) Filter change out differential: 28 – 37 Torr over initial ΔP Polyester: 99%+ efficiency to 5 micron
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