使用硬件定位器
紧凑的 集成位置传感器

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特征

数量的轴
使用硬件
其他特征
结构紧凑,集成位置传感器

描述

XYZ定位系统手持传感器头,扫描样品上方的激光束。XYZ定位系统用于定位干涉仪的探测光束,并在感兴趣的区域内扫描它。该定位系统由三个封闭在紧凑保护外壳中的SmarAct闭环定位器组成。每个定位器最大扫描范围为20毫米,重复性为50纳米。传感器头安装在最低的定位器上。XYZ定位系统安装在一个25毫米直径的柱子上,以便其高度容易调整,以适应不同尺寸的样品。甚至可以从其安装柱上拆卸定位系统,以便将其安装在一个定制的设置中,或将其与另一个仪器组合。

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