精密光学狭缝SMS-20-20

SMS-20-20由两个垂直定向的单狭缝组成。完全电动精确定义矩形孔径的尺寸和位置。四个独立可移动的叶片以两个平行对对齐彼此取向矩形。设置允许在宽度和高度的宽度和高度的宽度和高度范围内定义孔径的尺寸，从0到20mm。位置传感器允许每个刀片的闭环定位，以精确地将孔径的尺寸和位置限定20×20mm窗口的外壳。专用版本可用于高和超高真空环境。还提供自定义版本。请随时与我们联系以讨论您的特定要求。机械尺寸[mm] - 75 x 75 x 20开环速度[mm / s] - > 20分辨率[nm] - <1闭环闭环分辨率Mcs2 [nm] - 1（s）4（l）闭环重复性，全冲程MCS2 [NM] - ±30（S），±60（L）闭环分辨率（H）Cu [NM] - 50（L）闭环重复性，全冲程（H）Cu [nm] - ± 1000 (L) Options Material Options - Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) Vacuum Options - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Non-Magnetic Option - Yes (-NM)