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特征
测量实体
氧气,二氧化碳,一氧化碳,氮,甲烷,氩气,氢气
测量值
踪
应用领域
监测
描述
纳米超高速提供UHP气体的优越超痕量测量,可以在半导体工业中进行超痕量纯度测量的第一选择,革命性的纳米超结合了气体传感和信号处理方法的最新进展,以实现卓越的性能。使用先进的等离子体发射检测器(PED)感测和敏感的预言软件,提供了各种常见背景气体中氩气,甲烷,一氧化碳,二氧化碳,氢气,氮和非甲烷烃的最高可靠性监测。
目录
ServoPro纳米纳米超产品手册
6. 页面
ES 28气体分析应用
11. 页面
完整的气体分析指南
45. 页面
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