使用硬件定位系统

门户网站 用于晶圆检验和计量

我们为高要求的FPD行业提供的解决方案涵盖了从AOI到阵列测试的光间隔测量过程。全球安装了800多个系统。为了减少TCO，施尼伯格通过集成我们自己的花岗岩替代品:Mineralcast进行创新。这种等级高阻尼结构有助于优化，例如，总系统重量，减少了处理和运输成本。典型规格的“大格式系统”在POI* -配置:XYZ或+ Z(龙门)-行程:高达3500 × 2700mm -精度:≤10 μ m (TIR，映射)-重复性:≤2 μ m -稳定性:≤10 nm(在1s ptp内)-移动和沉淀:300mm < 500ms - Cst速度:< 0.01%在<100mm/s -直线度:< 20um超过3000mm -平直度:< 20um超过3000mm