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XY定位台PENTOR
z轴
电
5轴
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特征
- 取向
- XY, z轴
- 类型
- 电
- 轴数
- 5轴
- 其他特征
- 高精度
- 中风
-
马克斯。100µm
描述
特点:三轴平移系统和两轴倾斜系统的组合自由中心孔直径17mm集成预载荷每轴平移:高达100 μ m各方向倾斜:±2 mrad平行四边形设计固态柔性铰链无机械游戏选项:集成测量系统光学级通常需要一个开放的中心空间(例如通过光)。对于这样的应用，PENTOR平移和倾斜系统开发了一个17毫米的自由中心孔。它在x, y和z方向上的运动为100 μ m，在两个正交轴(j,q)上的倾斜为±2 μ ad。三个平移轴的柔性铰链保证了在这个阶段的行程范围内的最高平行度。每个轴都有一个内置的集成机械预紧力，使5轴压电定位器PENTOR非常适合动态应用。倾斜部分设计为正负倾斜。
