线性压电电动机n - 111 NEXLINE®系列
内置电子
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特征
- 运动
- 线性
- 其他特征
- 内置电子
- 中风
-
10毫米(0.394英寸)
- 力
-
最小值。50 N
马克斯。70牛
- 速度
-
0米/秒，0米/秒，0米/秒(0英尺/秒)
描述
行程范围10mm集成直测线性编码器，分辨率5nm产生力至50n保持力至70n应用领域工业精密定位半导体技术半导体测试晶圆检测光刻纳米压印纳米计量在强磁场和真空中运动高度非接触式光学编码器直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械作用或弹性变形对测量没有影响。
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