6轴微机器人系统在X、Y方向±6 mm行程范围,Z方向±3 mm旋转范围±6°θX、θY、工业和研究测量技术显微镜微操作生物技术自动化压电惯性驱动压电惯性驱动是一种节省空间、价格实惠的压电驱动,具有相对较高的保持力和几乎无限的旅行范围。惯性驱动原理是基于一个压电驱动器,由特殊驱动电子提供的修改锯齿电压控制。执行器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性,跑者不能跟随执行器随后的快速收缩而保持在其位置。操作频率高达20 kHz,驱动器直接作用于转轮,实现速度的最大。5毫米/秒。交叉辊式导轨通过交叉辊式导轨,钢球在导轨中的点接触被硬化辊的线接触所取代。因此,它们相当坚硬,需要更少的预紧,这减少了摩擦,允许更平稳的运行。交叉辊式导轨具有导向精度高、承载能力强等特点。 Force-guided rolling element cages prevent cage creep.