质谱计HPA 220系列

对气体分析 紧凑的

高压分析仪hPa 220是一个模块化和灵活使用的质谱系统，带有一个干涡轮泵站，用于气体分析在真空压力高达50 hPa。根据其用途，与HPA 220，五种不同的电动气动以及手动操作的气体进口阀门可以选择。•-提供了巨大的灵活性，得益于5个手动或电动气动操作的气体入口选项，用于分析、监控和控制压力高达50 hPa的过程。•-通过各种数字和模拟输入和输出方便和灵活的系统集成。•多路操作允许多个质谱仪系统的数据评估与一个单一的PC。•-紧凑的尺寸，灵活的集成。•-压力范围为1·10-7至50 hPa的真空过程分析、监测和控制•-真空镀膜系统的制造商和操作人员•-半导体生产•-光刻•-冶金•-真空熔炉•-研究和开发