ADH系列的最大优点之一是其高的氢泵速,允许在工艺步骤之间更快的室抽离。结合大流量公差,这使得ADH泵适用于最苛刻的工艺规格。由于一个优化的设计,泵提供了最好的功率消耗在市场上的这一水平的泵性能。无需中间维护所有轴承都是油润滑的,不需要任何现场维护。改进的粉末容忍度、冷凝管理和空闲模式有助于降低运行成本。泵配有双温控水冷却回路和集成热N2吹扫,防止粉堆积或凝结。必威体育app官方下载强大的电机可以处理大负荷的粉末,并保证良好的重启能力。升级了一个全新的监控系统,ADH系列的特点有助于提高过程的可靠性。ADH系列的设计和材料允许处理大的静态和动态内部压力应力。这确保了使用爆炸性气体如氢和硅烷的应用的最高水平的安全。