光学检查系统Imperia®
3D 自动化 对于晶圆

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特征

技术
光学,3D
操作模式
自动化
申请
对于晶圆
类型
用于缺陷检测

描述

凭借其独特的光学设计技术,Imperia系统检测并分类了杀死损耗的缺陷,并具有同时最新的光致发光(PL)生产监测的其他好处。Imperia系统具有独特的光学设计技术的产品概述,检测并分类了杀死缺陷的缺陷,并具有同时最先进的光致发光(PL)生产监测的其他好处。将这两个外交后计量筛选功能组合到单个高吞吐量系统中,可以最大程度地减少有价值的Fab空间使用和盒式处理时间。该产品可以为用户提供大量的经济节省(例如:准确预测MOCVD反应堆的收率和PM计划)。高密度光谱PL映射缺陷分析和分类外延层厚度和高分辨率晶圆形状分析和3D弓重建的归一化反射率成像

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