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特点
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- 检查
- 类型
- 光学
- 观察技术
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- 对于半导体
描述
采用CFI60光学器件，无瑕疵检查200mm晶圆和面具。结合尼康的优越CFI60 LU / L光学系统和一个非凡的新照明系统，这种显微镜提供了更大的图像，高分辨率高，暗场图像比以前更加明亮。独立使用，或与晶圆装载机组合使用，L200系列对晶片，光面罩，掩模和其他基板进行异常精确的光学检查。应用Antennae Telecom＆Electronics Wafers望远镜光学手机，剃须刀和手表
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半导体检查
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