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翻译舞台ATS 2032.
XYZ.
机动
3轴
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特征
- 方向
- 翻译，XYZ.
- 类型
- 机动
- 轴数
- 3轴
- 中风
-
分钟：50 nm.
最大限度。：1,000纳米
- 速度
-
0 m / s（0 ft / s）
描述
标准电动AFM阶段电动翻译阶段用于晶圆分析，ATS 2032电动XYZ翻译阶段为直径高达8英寸和一般AFM样品的晶圆上的串行测量构建，高度可达60毫米。它具有精确的运动。它具有精确的运动所有方向和磁铁都可以保持金属样品到位。该阶段设计用于纳米叶原子力显微镜。
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