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特征
- 专为
- 气体
- 过滤元件
- 过滤器
- 应用程序
- 灰尘
- 其他特征
- 高流量、模块化、一体化、超高纯度(UHP)
- 过滤面积
-
0.003µm
- 流
-
100l /min (26.417 us gal/min)
描述
高精度、高流量、全金属过滤专为集成气体系统(IGS)组件设计。Mott High Purity多年来一直为半导体制造提供多孔金属过滤器和流量限制器，也提供与igs兼容的设计。必威体育app官方下载因此，现在您可以将安装的便捷性、粘贴组件的可访问性、维护的便捷性、减少装配时间和典型IGS组件之间的兼容性与Mott独家提供的选择和性能优势结合起来。Mott的使命是为客户提供独特的过滤和流量控制解决方案，使用专门为苛刻的操作条件设计的材料，9 LRV效率和严格的流量控制。我们的IGS过滤器和流量节流产品的全线设计是为了与目前每SEMI 2787的工艺工具、气柜和阀门歧必威体育app官方下载管箱安装指定的气体系统接口兼容。随着300mm转换的挑战的出现，我们的技术已经提供了必要的解决方案。高流速- Mott多孔金属介质具有独特的性能，允许生产更广泛的流量，材料和配置选项比我们的竞争对手。这种几何形状的灵活性提供了高达100 slpm的流量额定值，同时满足了行业的围护结构要求。完整的产品配置范围- Mott的标准IGS模块化安装产品包括1.125”配置C-Seal或W-Seal，以及1.5”版本的C-Seal或W-Seal。我们有你需要的款式。
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