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空气分析仪过程感觉™
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特征
- 测量单位
- 空气
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- 的集成
- 技术
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描述
Process Sense™适用于确定半导体和沉积室等离子室清洗的完成情况。压力分析仪最大限度地减少了腔室的侵蚀，由于过度清洗。从而延长了燃烧室的使用寿命。该设备由红外吸收设计，这是有效的所有等离子清洗操作。它提供完整的升级套件，为AMAT CVD工具。它可以用于不同的应用，包括硅氧化物、硅氮化物、多晶硅和硅烷或正硅酸乙酯工艺。
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