-菲素干涉仪-测量直径从4″到12″- Granit基地
-被动隔振系统-自动干扰评估规范系统:-激光为基础,非接触式,3D光学相移干涉测量法平直特性的超加工,高反射表面和光学(与附加组件重叠
表面以及)给样:-水平(选项:垂直)系统质量:- / 8分辨率相机- 768 x 576像素,(可选:更高分辨率)激光Spezifikation类型:-氦氖类II波长:- 632,8 nm输出功率:- 1.5 mW光束偏振:-圆形软件Livebild am Monitor Software für Windows 7 Automatische Generierung von Protokollen 2D和3D graphhik Unterschiedliche Messdarstellungen Kalibrierung manuell/automatisch选项缩放系统质量:. ./10高分辨率相机