PVD沉积机PVD 75.

溅射 热蒸发 真空

Pro Line PVD系列 - 多功能溅射，电子束，热和有机蒸发沉积平台Pro Line PVD系列采用可配置的模块化设计，可用于各种薄膜沉积应用。有三个增加的腔室尺寸：PVD75，PVD200和PVD500可提供Torus®Magkeger™UHV兼容圆形磁控溅射源2“，3”，4“直径，可提供多袋电子束蒸发的Torus®线性磁控磁控管可提供多种热蒸发源配置的源，可提供多种有机蒸发源可用的多技术选项。但是：电子束+溅射，电子束+湿润或干燥粗泵，涡轮泵，或低温泵高真空泵送选项可用标准兼容的配置高达11英寸至20“OD基板（待处理室尺寸）;高达850°C的加热，冷却和偏置选项可提供单晶片和多晶圆装载锁锁选项，可用于底板，最高可达6”Pro Line系列PVD工具包括KJLC的创新EKLIPSE™高级控制包