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XY阶段
xyr - 65 - 10 x10 - aut aut acr - 65
旋转
线性伺服马达
晶片处理
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特征
取向
XY,旋转
类型
线性伺服马达
其他特征
晶片处理
中风
10毫米(0.394英寸)
速度
200毫米/秒
描述
xy -旋转工作台与直线电机和直接扭矩电机设计的低轮廓晶圆处理和许多其他自动化精确定位应用于半导体制造行业。XY驱动直线电机驱动提供亚微米的XY定位和直接驱动旋转舞台确保亚弧秒的性能
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