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XY阶段xy - - ul - 280 x280 + ACR260UT
旋转
两轴
开放式框架
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这种产品比较
特征
- 取向
- XY,旋转
- 数量的轴
- 两轴
- 其他特征
- 开式框架，用于晶圆处理
- 中风
-
280毫米(11.024英寸)
- 速度
-
400毫米/秒，800毫米/秒
描述
开放框架低轮廓xy -旋转工作台设计用于晶圆处理和许多其他自动化精确定位应用于半导体制造行业。XY驱动机构位于设备一侧，大中心通孔转台从两侧清晰无阻地进入晶圆片。
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