3D扫描仪

检查 用于检测 对于质量控制

用于检查LED，OLED和MEMS的显微镜扫描仪基于自动平台，可提供零件的高吞吐量。基本系统由处理单元和测量单元组成。在处理单元中，机器人传送晶片或基板，其可以出现直径，其直径为12“，在盒子中出现，而在测量单元中，样品在检测器下移动。通常，0.1μm-5μm的分辨率与来自UV-VIS-IR光谱范围的照明技术相结合。性能数据和关键事实在LED OLEDS MEMS二极管的生产中需要检查组件的定制产品典型检查目标（微裂纹，划痕）必威体育app官方下载，凸起，剥落，颗粒，夹杂物）的结构（组件布置，激光图案，蚀刻工艺，互连）测量单元可以配备有特殊的检测器，灯具和诸如具有高分辨率的快线扫描和矩阵摄像机的激励类型（高达0.5μm/ px）不同的对比度模式（BF，DF，DIC，POL）从UV到IR亮度和颜色测量干涉测量光的光学照明荧光灯热成像