晶粒结构分析系统双子座

对于晶片

在太阳能晶圆和电池的生产过程中，对晶圆相关的工艺管理和统计工艺优化，分析多晶硅和单晶圆的晶粒结构是有意义的。GEMINI晶粒分析系统能够从晶片的天然晶粒结构中提取各种数据，例如:晶粒的数量和每个晶粒的尺寸晶粒边界的总长度双晶粒识别最大晶粒所占表面积的百分比进一步的选择该系统可作为独立的机器在实验室环境中测量晶圆，也可作为在线工具，例如，用于快速的单晶片特性描述。GEMINI颗粒分析系统可以获取一个晶片的多个图像。这对于获得晶圆的晶粒结构的可靠结果是必要的。在一个晶圆上有无数的光照，就有可能使每一粒晶粒都可见