凹部阵列镜子shar

高精准度

Sharper是一项欧洲之星项目，旨在开发一种新的高精度自动计量平台，可用于非常高质量的光学元件，例如在Synchrotron Beamlines，EUV光刻系统和望远镜中。仪表尺度X射线镜将具有比50nrad rms更好的斜率误差精度。该系统将包括三个主要元素：•具有旋转和尖端倾斜阶段的高度稳定和可重复的运动平台•高精度波前传感器，绝对精度为λ/ 1000 rms•高精度结果的先进拼接算法新的超级-high精密棚屋 - Hartmann波前传感器集成在具有专用运动平台的光学头中，以提供2D斜率/高度图。所测试的表面可以水平或垂直定向以匹配实际使用的配置。客户可以指定纵向（扫描方向）和横向行驶范围，以扩展特征区域范围。可选地，可以将旋转和尖端倾斜轴添加到运动系统中。这使得用户能够通过手动干扰使用户自动翻转测试的光学部件。