HP 231是一个具有内部净化的中央气体供应的双级面板。它提供安全供应纯气体和混合气体从单个或捆瓶。该站安装在一个不锈钢控制台上,由一个压力调节器、进出压力表以及用于工艺气体和净化气体的安全阀和切断阀组成。特点:压力调节器和多功能块模块化设计。从前面装配和拆卸所有夹具。间歇式隔膜截止阀设计用于工艺和净化气体,具有启闭显示功能。可扩展性为1x2圆柱体/捆绑已经集成。特别适用于对纯度要求高达6.0的气体。安全、防泄漏。通过选择,如接触式压力表和气体报警箱(见第7部分),供应概念可以进一步优化。 Through our special cleaning system our pressure regulators are suitable for ECD – applications.