热质量流量计D500系列

不同的压力 对于气体 排队

压力不敏感的质量流量模块该前沿压力不敏感的质量流量模块是通过差压力检测和压电执行器阀安装的。标准D500提供的高度性能确保可以用于一系列高级半导体制造过程；压力不敏感，多范围/多气/多压，G-life（集成流量限制器方程的气体检查）自我诊断功能，高精度，快速响应，范围广泛，范围广泛，并且全金属。压力不敏感的性能新的高性能压力不敏感功能提供了简化的气体供应系统多范围，多气，多压解决方案，新功能使用户可以更改气体类型，全尺度流量和供应压力范围G-life（综合流量限制器方程的气体检查）自我诊断功能高级过程健康监测功能使操作员可以进行自己的测试，通常在三秒钟或更少的时间内以提高吞吐量的高度准确流量流量的流量精度通过高级三维调整快速响应进行改进：<0.8秒准确，稳定的流量控制可以实现动态范围宽控制范围：0.2％F.S.到100％F.S。“最近，随着根据IoT的增加，半导体设备的应用增加，最新的半导体工厂正在专注于最大程度地减少设备的停机时间。因此，为了预测半导体工具及其组件的故障，托管参数，托管参数半导体过程的增加，其规格越来越紧。