光谱椭圆仪

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光谱

描述

Horiba为薄膜质量控制提供了大量的解决方案。诸如原位和型号的各种椭圆级数用于控制研究和工业中的过程。从薄膜监测到大面积映射和柔性装置的直线表征。原位光谱椭圆尺寸允许使用亚单层分辨率实时监测和控制薄膜沉积。它提供了膜厚度和光学常数的实时估计。

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