机器人装载单元MicroProf®MHU.

处理 排序 为电子行业

- 材料处理单元，带双臂机器人 - 高吞吐量，可开放式磁带的高吞吐量 - OCR读卡器/预装配机 - 对准器 - 分离功能适用于良好和坏样品 - 可选的SEC / GEM界面工业应用需要具有高吞吐量的完全自动化测量。反过来，这需要自动处理样品。Microprof®系列的可选MHU专为半导体，MEMS和LED行业设计，并且可以轻松配置各种样品（晶圆）类型。处理单元可以处理2到12英寸之间的晶片尺寸。根据配置，可以同时处理多达四个盒式磁带。