ST98高和超高纯度质量流量计适合制药、生物技术、食品和饮料和半导体行业。FCI的热扩散技术提供非常准确和可重复的质量流率的迹象。传感元件结合了两种匹配精密电阻温度探测器(白金)高压。活跃的RTD是优先加热恒流。参考RTD优先加热恒流。参考RTD感官在过程流体的温度。作为流动通过元素产生阻力微分质量流量成比例。流量范围:2.0 - 3183 SCFM [3.4 - 5409 NCMH)在空气中在标准条件70°F (21.1°C)和14.7 psia[1.01325条(a)],最典型的气体。所有的气体必须兼容流元素材料。准确性:(在校准条件)流:阅读+ 0.5%满量程精度±1%(标准)。 Temperature: ± 2° F [± 1° C] (for display only; flow rate must be grater than 5AFPS [1.5 AMPS]) Temperature Coefficient: With optional temperature compensation. Valid from 10% to 100% of full-scale calibration Flow: Maximum ± 0.015% of reading/ºF up to 850ºF [±0.03% of reading/ºC up to 454 ºC]