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XY定位阶段TLM系列
直线电机驱动的
两轴
高精度
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这种产品比较
特征
- 取向
- XY
- 类型
- 直线电机驱动的
- 数量的轴
- 两轴
- 其他特征
- 高精度、交叉滚子
- 中风
-
最小值。4µm
马克斯。30万µm(11.811英寸)
描述
精度交叉系统TLM优点:最小的沉降时间，提高效率和产量几乎无振动的操作准备使用的系统特点:高精度交叉滚子导轨与防蠕变系统TLM是结合高精度导轨的高精度的交叉工作台系统。采用无铁直线电机驱动和光学直线编码器，实现子微米范围内的精确定位。TLM开放框架XY级最初是为测量和激光应用而设计的。主要特点:•上轴驱动力可达264N，下轴驱动力可达603N•机械行程可达308mm•速度可达1.5 m/s•加速度可达30m/s2•无铁直线电机:没有吸引力量,没有接头部队•移动磁铁容易布线(无电缆移动到顶部)为所有连接••一扁平电缆轴光学测量系统集成限位开关•精度交叉滚子铁路指南与专利反笼爬行系统(ACS)•可用在铝和铸铁•理想适合晶片处理和测量的应用
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