INFICON Bayard-Alpert Pirani组合压力表,BPG402- s,在一个紧凑的单元中作为两个压力表,测量从5×10-10毫巴到大气(3.8×10-10 Torr到大气)。结合技术可以降低安装、设置和集成的复杂性。选择BPG402-S与两个氧化钇涂层铱丝负担得起和可重复的过程,在一个经济的包的基础压力测量。具有机载校准数据的传感元件保证了交换传感器时的高再现性。优点非常宽的测量范围从5×10-10 mbar到大气(3.8×10-10 Torr到大气)在过程压力范围从10-8…10- 2mbar 5%皮拉尼连锁保护丝过早烧毁的优良重复性10- 2mbar氧化钇涂层铱丝可选的图形显示和现场总线接口可选的高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预,易于交换传感元件与板上校准数据保证高再现性符合RoHS标准典型应用半导体工艺和转移室的压力测量工业镀膜的一般真空测量和控制在低至超高真空范围