脱气单位LiquidLens™LLD2

LiquidLens™LLD2 UPW脱气系统UPW脱气浸入式光刻扫描仪液位LLD2系统通过减少溶解气体提供液体透镜的稳定性和纯度，并监测UPW质量，连续保持出口UPW流的目标温度和压力水平确保加工和机器安全安全警报和泄漏传感器提供了对工具和客户中央监控系统的关键参数的实时监控。