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气体过滤器Wafergard®II科幻
微粒
膜
高效的
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这种产品比较
特征
- 专为
- 气体,颗粒
- 过滤元件
- 膜
- 其他特征
- 高效、内联、高温
- 过滤面积
-
0.003µm
- 操作压力
-
最小值。35bar (507.632 psi)
马克斯。165 bar (2,393.123 psi)
描述
Wafergard®II SF Mini XL In-line Gas Filters用于超纯气体系统过滤的高级颗粒过滤专利不锈钢膜提供高效过滤理想的高温和动态压力应用与大多数超纯半导体工艺气体的良好兼容性惰性和反应性使用材料:滤芯:专利不锈钢膜过滤器外壳:电抛光316L不锈钢表面光洁度内部:<=5 μin Ra氦泄漏等级:合格2 ' 10-10 atm-cc/sec测试1 ' - 9 atm-cc /秒。工作条件:最大进口压力:165bar (2357psi)在20°C最大正向/反向压差:140bar (2000 PSID)最大工作温度:460°C在35bar (500 PSI)
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