低温真空泵是320fx.

润滑 单级 水冷

无与伦比的真空性能和能效Edwards CTI-Cryogenics是Cryopump系统利用创新，高效技术，提供无与伦比的真空性能和能效。专利的分布式控制系统监视器，不断调整低温泵系统的各个元素，以保持最佳的系统宽真空性能，以实现卓越的过程一致性。在董事会上，Cryopumps提供最高的正常运行时间，最佳生产率和最低的总体所有权的所有权，由Edwards高度响应的全球服务和支持网络支持。主要特点专利的分布式控制系统监视器和不断调整的低温泵系统的各个元件保持最佳的全系统的真空性能，单和多泵配置提供出色的处理一致性最快再生能源消耗低和冷却水用真空没有妥协性能易于系统集成生产快速安装增强型远程监测预防和预测性维护320FX低温泵上的Board®IS 320FX低温泵，专门开发来解决今天的离子注入工艺的挑战，提供了增强的氢气抽送的速度和容量，同时保持the quality, performance and reliability you’ve come to expect. Specifically designed for ion implant applications Optimized for tool throughput Intelligent “self adjusting” technology Lower cost of ownership Increased uptime