铝加热板

精度

杜蕾斯利用最先进的加热技术，专门为半导体加工200mm、300mm和450mm晶圆制造精密的铸型烤模。铸型压板加热器由纯铝(99.7%)铸造，以确保最大工作温度为450°C(842°F)，并将工艺污染风险降至最低。控制浇注过程，以消除加工表面或铸件体中可能由孔隙引起的任何缺陷。矿物绝缘加热元件分布在整个铸件中，以提供工艺操作温度的±1%或更好的表面温度均匀性。一个可用的硬阳极氧化表面提供了一个耐磨的介质屏障的工作表面的铸烤压板加热器。