增量线性编码器页281
暴露
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这种产品比较
特征
- 类型
- 增量
- 建设
- 暴露
描述
在PP双坐标编码器上，采用DIADUR工艺制作的平面相位光栅结构作为测量标准，进行干涉扫描。这使得测量平面上的位置成为可能。
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